型号 | nm100-plus | nm-160 plus | nm-250 plus | nm-300 plus | nm-500 plus | nm-600 plus | nm-1000 plus |
流量 | 100cc/min | 160cc/min | 250cc/min | 300cc/min | 500cc/min | 600cc/min | 1000cc/min |
纯度 | 99.99996% | ||||||
压力 | 1-160 psig / | ||||||
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0.1-11 barg | ||||||
尺寸 | 230w x 480h x 370d | ||||||
重量 | 17kg | ||||||
电气要求 | 230 vac/50hz / 120 vac/60hz |
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